[发明专利]光照射装置和光学构件有效
| 申请号： | 200680031128.8 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101248348A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 齐藤满 | 申请（专利权）人： | CCS株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;F21V8/00;F21Y101/02 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光照射装置，包括：透光板(31)，将其中一面作为工件相向面(31a)，朝向光照射对象即产品等工件(W)而设置且具有规定厚度；多个反射部(32)，并排设置在所述透光板(31)的另一面上，使得光反射面朝向工件(W)侧，且所述反射部彼此间形成有细微的间隙(S)；光源部(5)，设置于这样的位置，使所出射的光的至少一部分透过所述透光板(31)到达所述光反射面、并由此反射从所述工件相向面(31a)出射；以及防反射膜(33)，覆盖所述工件相向面(31a)。因此，在不至于牺牲其紧凑性等优势的情况下能以简单的构成、较低的成本来减轻条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 光学 构件 | ||
【主权项】：
1.一种光照射装置，包括：透光板，将其中一面作为工件相向面，朝向光照射对象即产品等工件而设置，具有规定厚度；多个反射部，并排设置在所述透光板的另一面上，使得光反射面朝向工件侧，且所述反射部彼此间形成有细微的间隙；光源部，设置于这样的位置，使所出射的光的至少一部分透过所述透光板到达所述光反射面、并由此反射从所述工件相向面出射；以及防反射膜，覆盖所述工件相向面。
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