[发明专利]监测衬底中的槽形成有效
| 申请号： | 200680025488.7 | 申请日： | 2006-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101223034A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | S·格雷默;S·奥布赖恩;I·坎贝尔－布朗 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B23K26/03;B23K26/40;B23K26/38;B23K26/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;陈景峻 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 采用光束(330)在衬底(125)的第一侧内切割槽(140)。在切割槽(140)的同时，采用光学传感器(370)监测与所述第一侧相对的衬底(125)的第二侧的表面(142)。如果所述光束(330)穿透了所述第二侧的表面(142)，那么采用传感器(370)探测所述光束(330)。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 衬底 中的 形成 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：采用光束(330)在衬底(125)的第一侧切割槽(140)；在切割所述槽(140)的同时，采用光学传感器(370)监测与所述第一侧相对的所述衬底(125)的第二侧的表面(142)；以及如果所述光束(330)穿透了所述第二侧的表面(142)，那么采用所述传感器(370)探测所述光束(330)。
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