[发明专利]多模薄膜弹性波谐振器滤波器

摘要

在平衡－不平衡型多模薄膜弹性波谐振器滤波器(100)中，第1下部电极(102)的面积，与第2及第3下部电极(104、106)和将第2及第3下部电极(104、106)分离的区域的合计面积大致相等。第1上部电极(103)的面积，与第2及第3上部电极(105、107)和将第2及第3上部电极(105、107)分离的区域的合计面积大致相等。第3下部电极(106)与第2上部电极(105)、以及第3上部电极(107)与第2下部电极(104)分别对置地配置。第2下部电极(104)的一部分与第2上部电极(105)的一部分对置地配置。

主权项

1.一种平衡-不平衡型多模薄膜弹性波谐振器滤波器(100)，利用薄膜弹性波谐振器进行平衡信号与不平衡信号之间的变换，其特征在于，具备：第1振动部，由薄膜弹性波谐振器构成；第2振动部，由薄膜弹性波谐振器构成，与上述第1振动部并列地配置；以及共用振动确保部，载置上述第1及第2振动部，通过共同地确保上述第1及第2振动部的振动而将该两个振动结合，上述第1振动部包括：第1下部电极(102)；第1上部电极(103)，与上述第1下部电极(102)对置而配置；以及压电薄膜(101)的一部分，夹在上述第1下部电极(102)与上述第1上部电极(103)之间，上述第1下部电极(102)或上述第1上部电极(103)被用作输入输出端子；上述第2振动部包括：第2下部电极(104)；第3下部电极(106)，通过绝缘区域与上述第2下部电极(104)分离而配置；第2上部电极(105)，与上述第3下部电极(106)的一部分对置而配置；第3上部电极(107)，与上述第2下部电极(104)的一部分对置而配置，并且通过绝缘区域与上述第2上部电极(105)分离而配置；以及上述压电薄膜(101)的另一部分，夹在上述第2及第3下部电极(104、106)与上述第2及第3上部电极(105、107)之间，上述第2下部电极(104)和上述第2上部电极(105)都被用作输入输出端子；上述第1下部电极(102)的面积，与上述第2及第3下部电极(104、106)、和将上述第2及第3下部电极(104、106)分离的区域的合计面积大致相等；上述第1上部电极(103)的面积，与上述第2及第3上部电极(105、107)、和将上述第2及第3上部电极(105、107)分离的区域的合计面积大致相等；上述第2下部电极(104)的一部分与上述第2上部电极(105)的一部分对置而配置。