[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种在通过激光器的多次脉冲照射或固定时间照射、加工被加工物的多个被加工部分的过程中，使用微透镜或全息元件等作为聚光或成像单元来进行加工，能够使加工直径或加工形状均匀的激光加工装置及激光加工方法。一种对被加工物的被加工区域内的多个被加工部分进行加工的激光加工装置，包括：激光装置、从该激光装置射出的激光光束的聚光或成像单元、以及被加工物的配置单元；固定被加工物和聚光或成像单元，在被加工区域内及区域外，一面使激光光束和聚光或成像单元相对地移动一面进行加工，以使聚光或成像单元接受来自激光光束内的不同区域的照射，并且使对每一个多个被加工部分的加工中的累计激光光束照射时间相等。

主权项

1.一种激光加工装置，用于加工被加工物的被加工区域内的多个被加工部分，包括：激光装置、从该激光装置射出的激光光束的聚光或成像单元、以及上述被加工物的配置单元；固定上述被加工物和上述聚光或成像单元，在上述被加工区域内及区域外，一面使上述激光光束和上述聚光或成像单元相对地移动一面进行加工，以使上述聚光或成像单元接受来自激光光束内的不同区域的照射，并且使对上述多个被加工部分的每一个的加工中的累计激光光束照射时间相等。