[发明专利]磁记录介质的制造方法、磁记录介质、以及磁记录和再现装置

摘要

提供一种磁记录介质的制造方法，其中当以氧化物磁性材料为垂直磁记录层并通过等离子体CVD方法形成碳保护层时，可防止碳保护层的剥离以及润滑层的分离，并可获得符合要求的记录和再现特性。在磁记录介质的制造过程中，磁记录介质至少由基底1构成，在基底1上提供垂直磁记录层和碳保护层，其中垂直磁记录层由包括Co合金和氧化物材料的磁性材料构成，该方法包括在基底1上形成垂直磁记录层的垂直磁记录层形成过程，采用加热部分28加热在其上形成有垂直磁记录层的基底的加热过程，以及通过等离子体CVD方法在其上形成有垂直磁记录层的基底1上形成碳保护层的保护层形成过程。

主权项

1.一种制造磁记录介质的方法，所述介质包括在基底上的垂直磁记录层和碳保护层，其中所述垂直磁记录层由包括Co合金和氧化物材料的磁性材料形成，所述方法包括：垂直磁记录层形成过程，在所述基底上形成垂直磁记录层；加热过程，加热其上形成有所述垂直磁记录层的所述基底；以及保护层形成过程，通过等离子体CVD方法在其上形成有所述垂直磁记录层的所述基底上形成碳保护层。