[发明专利]超纯水中的微粒数测定方法、微粒数测定用过滤装置、其制造方法以及用于该装置的中空纤维膜单元有效
| 申请号： | 200680003611.5 | 申请日： | 2006-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101111755A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 过藤睦子;草野彻;赤平一成;伊藤隆 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司;旭化成化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10;G01N1/02;G01N15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的超纯水中的微粒数测定方法的特征在于，包括下列工序：采用至少在内表面具有能够捕捉超纯水中的微粒的表层的中空纤维膜对超纯水进行内压过滤的工序；使所述中空纤维膜的内表面露出的工序；以及测定所述露出的内表面的微粒数的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 中的 微粒 测定 方法 过滤 装置 制造 以及 用于 中空 纤维 单元 | ||
【主权项】：
1.一种超纯水中的微粒数测定方法，其特征在于，包括下列工序：采用至少在内表面具有能够捕捉超纯水中的微粒的表层的中空纤维膜对超纯水进行内压过滤的工序；使所述中空纤维膜的内表面露出的工序；以及测定所述露出的内表面的微粒数的工序。
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