[发明专利]激光加工装置

摘要

一种激光加工装置，其经由多个fθ透镜同时照射多个激光束，对载置于1个加工台上的多个工件进行激光加工，具有：偏差量计算部，其计算每个工件的位置偏差值，根据工件的加工方法，设定校正工件的位置偏差的加工台移动量校正值；偏差量判断部，其从预先设定的多种加工方法中选择与位置偏差值对应的加工方法；以及控制部，其使用与工件加工方法对应的校正值，对多个工件进行加工控制，其中，在某个工件处于fθ透镜的加工区域之外、且各工件间的位置偏差值的差小于规定值的情况下，偏差量计算部设定校正值，以使得所有的工件进入fθ透镜的加工区域内，偏差量判断部选择同时向所有的工件照射激光束，进行所有工件的同时加工的同时加工方法。

主权项

1. 一种激光加工装置，其从多个激光照射轴，经由与各激光照射轴对应的fθ透镜，同时照射多个激光束，同时对载置于1个加工台上的多个工件进行激光加工，其特征在于，具有：偏差值计算部，其对于每个工件，检测前述各工件相对于前述加工台的位置偏差，计算每个工件相对于前述加工台的位置偏差值；加工方法选择部，其根据前述偏差值计算部计算出的位置偏差值，从预先设定的多种加工方法中选择与前述位置偏差值对应的工件的加工方法；校正值设定部，其根据前述加工方法选择部选择出的加工方法，设定对前述各工件的位置偏差进行校正的前述加工台的移动量的校正值；以及加工控制部，其在利用由前述加工方法选择部选择出的加工方法，使用由前述校正值设定部设定的校正值，加工前述加工台上的多个工件时，进行加工控制，前述加工方法选择部，在前述加工台上的某个工件处于可以经由前述fθ透镜进行激光加工的区域之外、且前述加工台上的各工件间的位置偏差值的差小于规定值的情况下，从前述多种加工方法中选择同时加工方法，该同时加工方法是向前述加工台上的所有工件同时照射前述激光束，对前述加工台上的所有工件进行同时加工，前述校正值设定部，在前述加工方法选择部选择了前述同时加工方法的情况下，设定前述校正值，以使得前述加工台上的所有工件，进入可以经由与各工件对应的fθ透镜同时进行激光加工的区域内。