[发明专利]管形靶有效
| 申请号： | 200680000272.5 | 申请日： | 2006-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN101052740A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | P·阿本通格;K·胡贝尔;H·拉克纳;G·莱希特弗里德;P·波尔茨克;克里斯蒂安·韦拉奇尼格 | 申请（专利权）人： | 普兰西欧洲股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产管形靶的方法，该管形靶包含钼或钼合金，其含氧量低于50μg/g，密度大于理论密度的99％，且平均粒径小于100μm，并且该管形靶与一支承管相连接，通过挤压完成生产。 | ||
| 搜索关键词： | 管形靶 | ||
【主权项】：
1.一种管形靶的生产方法，该管形靶包含一钼管或一钼合金管，其含氧量低于50μg/g，密度大于理论密度的99％，在轴向方向的横向平均粒径小于100μm，该管形靶还包含一由非磁性材料制成的支承管，其特征在于，本方法至少包含以下生产步骤：由钼或钼合金生产出金属粉末，该粉末具有按费希尔之说从0.5至10μm的平均粒径；生坯以管毛坯的形式进行生产，在使用砂芯的挠性铸模中，在压力P下，对金属粉末进行冷等压挤压，其中，压力为100MPa＜p＜500Mpa；在温度T下的还原空气或真空中，通过烧结生压制坯进行管毛坯的生产，其中，温度为1600℃＜T＜2500℃；通过将管毛坯加热到成型温度T，并对心轴挤压进行靶管的生产，其中，温度为DBTT＜T＜(TS-800℃)；靶管与支承管进行连接；机械加工。
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