[实用新型]扩散炉的炉门密封装置无效
| 申请号： | 200620148207.4 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN200972331Y | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 李补忠;钟华;盛金龙;郝晓明 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 北京中宸联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐光熙 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用在扩散炉闭管扩散工艺中的炉门密封装置，包括有石英炉门和SiC桨，所述密封装置包括有O型密封圈、固定管和波纹管，所述O型密封圈设置在石英炉门与工艺管之间；所述固定管紧密接触在SiC桨外，且在石英炉门上SiC桨穿孔处设有一内方外圆的突起法兰；所述波纹管设置在突起法兰和固定管之间。本实用新型在石英炉门与工艺管之间增设O型密封圈，将炉门与工艺管之间进行密封，同时在石英炉门与SiC桨接触处设有一内方外圆的突起法兰，不影响SiC桨的操作；解决了闭管扩散要求，同时避免了排出的残余气体污染环境。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉门 密封 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扩散炉的炉门密封装置，包括有石英炉门(3)和SiC桨(10)，其特征在于：所述密封装置包括有O型密封圈(4)、固定管(8)和波纹管(7)，所述O型密封圈(4)设置在石英炉门(3)与工艺管之间；所述固定管(8)紧密接触在SiC桨(10)外，且在石英炉门(3)上SiC桨(10)穿孔处设有一内方外圆的突起法兰(6)；所述波纹管(7)设置在突起法兰(6)和固定管(8)之间。
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