[实用新型]内冷式高速薄膜研磨头无效
| 申请号： | 200620044748.2 | 申请日： | 2006-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN2930972Y | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 董丽华;罗红霞;范春华;顾水球;刘少飞 | 申请（专利权）人： | 上海海事大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/04 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李征旦 |
| 地址： | 200135上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种内冷式高速薄膜研磨头，其特点是研磨抛光转轴外面，安装一个与转轴间隙配合的给水套，并在给水套位置上沿转轴的表面径向到轴心，再沿轴向穿过薄膜夹持器和薄膜，打钻水道，将冷却液经给水套内的给水环，沿水道引至抛光薄膜中心，向工件表面四周喷射，均匀冷却工件的研磨抛光部位，并将工件表面的切屑和其它微粒冲刷干净，以避免它们划伤工件表面；由于内冷式结构有效降低了工件表面研磨抛光时产生的温升，可使研磨抛光速度增大到10000r/min以上，研磨抛光后工件表面的粗糙度达到Ra0.1－0.025mm；本实用新型的应用，进一步提高了研磨抛光的质量和效率，拓展了研磨抛光的应用范围，是软研磨技术的又一突破。 | ||
| 搜索关键词： | 内冷式 高速 薄膜 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种包括水泵(1)、转轴(4)、与转轴(4)固定连接的薄膜夹持器(8)和抛光薄膜(9)的内冷式高速薄膜研磨头，其特征在于：a.安装在转轴(4)外面的给水泵(5)与转轴4间隙配合，b.给水套(5)内蓄水环(11)经给水套(5)内上下的密封圈(6)，与转轴(4)密封配合，c.由转轴(4)表面沿着径向到轴心，再沿着转轴(4)的轴向，穿过薄膜夹持器(8)和薄膜9，至薄膜9的外表面中心处，打钻水道(7)。
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