[实用新型]一维线性微调机构无效
申请号: | 200620042463.5 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN2924489Y | 公开(公告)日: | 2007-07-18 |
发明(设计)人: | 李生强;齐芊枫 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人: | 黄志达;林德杰 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一维线性微调机构,用于高精度传感器的安装和调节,它包括一调节支座、与该调节支座上半部活动连接设有精密螺纹的调节螺柱、设置在所述调节支座下半部的弹性张紧机构;调节螺柱与弹性张紧机构的轴线相互重合;调节支座包括固定部、与该固定部连为一体的多层弹片机构、与多层弹片机构连为一体的可动部;调节支座可动部的一端悬空设置,悬空一端的可动部上水平设有固定被调节件的通槽;调节螺柱的底部与所述可动部的顶面紧密接触;固定部的底部均布有螺丝孔,螺丝孔内穿设有固定螺钉。将被调节件装配在调节支座上,可在有限的空间条件下,达到微米级别的一维线性微调精度,且在其它五个方向产生的误差值远远低于允许的误差范围。 | ||
搜索关键词: | 线性 微调 机构 | ||
【主权项】:
1、一维线性微调机构,其特征在于:它包括一调节支座、与该调节支座上半部活动连接的带有精密螺纹的调节螺柱、设置在所述调节支座下半部的弹性张紧机构;所述的调节螺柱与弹性张紧机构其轴线相互重合;所述的调节支座包括固定部、与该固定部连为一体的多层弹片机构、与多层弹片机构连为一体的可动部;所述调节支座可动部的一端悬空设置,并水平设有一固定被调节件用的通槽;所述调节螺柱的底端与所述可动部的顶部紧密接触;所述调节支座固定部上设有将其整体固定的通孔;其底部均布有固定弹性张紧机构的螺孔,螺孔内穿设有固定螺丝。
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