[发明专利]离子平衡调整方法以及使用它的工件的除电方法有效
| 申请号： | 200610162843.7 | 申请日： | 2006-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1972551A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊夫;铃木智 | 申请（专利权）人： | SMC株式会社 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H01T19/00;H01T23/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 当通过在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而在除电区域内使正负离子发生，并将带电工件搬进此除电区域内进行除电之际，在工件被搬进上述除电区域内以前，利用表面电位传感器来测定该除电区域内的离子平衡，并依照其测定结果使上述电极针上所施加的脉冲状高电压的脉冲宽度和/或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 平衡 调整 方法 以及 使用 工件 | ||
【主权项】：
1.一种离子平衡调整方法，其特征在于：使用在正负电极针上施加正负脉冲状高电压而使之电晕放电，由此从两电极针发生正负离子以对工件进行除电的离子发生器；和用于测定正负离子的离子平衡的表面电位传感器，在进行上述工件的除电以前，在该工件不存在的状态下通过上述表面电位传感器来测定从上述离子发生器发射出的正负离子的离子平衡，并依照其测定结果使施加在上述电极针上的脉冲状高电压的脉冲宽度和/或电压值变化，由此对来自该电极针的离子的发生量进行调整以使正负离子平衡。
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