[发明专利]用于半导体器件树脂灌封机的多头驱动装置无效
| 申请号： | 200610160908.4 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101032850A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 姜炳唤 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | B29C41/00 | 分类号： | B29C41/00;B29C41/34;B29C41/30;H01L21/56 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种诸如应用于半导体器件的树脂灌封机的多头驱动装置，其包括：线性电动机的定子；可相对于定子线性运动并与定子一起构成线性电动机的多个动子；安装在动子处的多个线性导向单元；与线性导向单元相连的工作头单元；以及与线性导向单元相连用于使工作头单元运动的驱动单元。安装在有限空间的工作头单元的数量增多，且工作头单元被迅速而准确地驱动。因此，用于灌注树脂的树脂灌注功能增强，从而缩短每小时将树脂灌注在带金属模板上所花时间。此外，由于部件数目减少，且整体结构简化，装配生产力提高，生产成本下降。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体器件 树脂 灌封机 多头 驱动 装置 | ||
【主权项】：
1.用于半导体器件树脂灌封机的多头驱动装置，包括：线性电动机的定子；多个动子，相对于所述定子可线性移动且与所述定子一起构成所述线性电动机；线性导向单元，安装在每个所述动子处；工作头单元，连接至每个所述线性导向单元；以及驱动单元，连接至每个所述线性导向单元，用于使相应的工作头单元运动。
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