[发明专利]一种扩散焊接方法

摘要

一种扩散焊接方法，其特征在于包括如下步骤：(1)靶材、背板的表面加工；(2)靶材、背板的表面化学处理；(3)靶材、背板的热压；(4)靶材组件的淬火；(5)靶材组件的时效热处理。与现有技术相比，本发明的优点在于通过把靶材表面加工成纹路形状，可有效去除靶材和背板表面的氧化膜，在焊接时彻底排出两者界面之间的空气，获得具有良好焊接结合率和结合强度的溅射靶材组件；同时焊前表面化学处理、焊后热处理等措施进一步保证与提高了组件的焊接性能。

主权项

1、一种扩散焊接方法，其特征在于包括如下步骤：(1)靶材、背板的表面加工：靶材表面加工成一定纹路，背板表面加工光亮；(2)靶材、背板的表面化学处理：靶材先酸洗，再用有机清洗溶剂清洗，背板直接用有机清洗溶剂清洗；(3)靶材、背板的热压：靶材、背板先同时放入炉中升温至350～500℃，并保温0.5～1小时后取出，迅速加压，当变形量达到30％～60％停止加压；(4)靶材组件的淬火：把加压后的靶材组件再放回炉中，升温至450～550℃，并保温3～5小时后取出水冷；(5)靶材组件的时效热处理：把淬火后的靶材组件重新放回炉中，升温至160～180℃，并保温8～8.5小时后取出空冷。