[发明专利]基板处理系统和方法、验证程序和计算机可读取记录介质有效
| 申请号： | 200610151659.2 | 申请日： | 2006-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN1928723A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 藤井克久;野村优人;大野修二;曾原俊史 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理系统、基板处理方法、验证程序和记录有验证程序的计算机可读取记录介质。基板处理系统包括：计算机(50)；记录有处理方案数据(15)的存储装置(51)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)按照所述处理方案数据(15)使所述基板处理装置(1)动作的方案执行程序(16)；记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)将所述方案执行程序(16)对所述基板处理装置(1)的动作指令作为日志数据输出的日志数据输出程序(19)；以及记录在所述存储装置(51)内，使所述计算机(50)对通过所述日志数据输出程序(19)输出的日志数据和在所述处理方案数据(15)中记载的处理内容进行比较的比较核对程序(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 方法 验证 程序 计算机 读取 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理系统，其特征在于：具有对基板实施多种处理的基板处理装置，按照定义有各处理内容的处理方案数据，通过所述基板处理装置对基板实施一系列处理，其中，该基板处理系统包括：计算机；记录有所述处理方案数据的存储装置；记录在所述存储装置内，使所述计算机按照所述处理方案数据使所述基板处理装置动作的方案执行程序；记录在所述存储装置内，使所述计算机将所述方案执行程序对所述基板处理装置的动作指令作为日志数据输出的日志数据输出程序；以及记录在所述存储装置内，使所述计算机对通过所述日志输出程序输出的日志数据和在所述处理方案数据中记载的处理内容进行比较的比较核对程序。
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