[发明专利]现场衬底成像无效
| 申请号： | 200610140724.1 | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1943990A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·德鲁·戴维;尼尔斯·约翰逊;博古斯拉夫·A·斯韦德克 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于确定终点的包括计算机程序产品的方法和产品。现场捕获一衬底的部分衬底图像，该图像包括依赖衬底层厚度的光学信息。检查该图像以查找该衬底上的一个位置，并且使用与该位置对应的一部分光学信息确定工艺终点。 | ||
| 搜索关键词： | 现场 衬底 成像 | ||
【主权项】：
1、一种计算机执行的方法，包括：现场捕获一衬底的部分衬底图像，所述图像包括基于衬底层厚度的光学信息；在所述图像中查找所述衬底上的一个位置；以及使用与该位置相对应的部分光学信息来确定工艺终点。
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