[发明专利]一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法及实现装置

摘要

本发明公开一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法。它通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动，经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤，通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制，达到控制样品无损逼近探针的目的。采用本发明可以避免碰撞逼近所造成的探针或样品损伤。

主权项

1.一种面向纳米观测与操作的样品无损逼近方法，其特征在于：通过控制样品相对于探针进行微米级的初调运动及纳米级的精密运动，经检测反射激光光斑的位置变化信号的反馈控制步骤，通过检测样品逼近探针产生原子力作用时产生的光电检测信息进行反馈控制，达到控制样品无损逼近探针的目的；具体：由驱动控制器控制步进电机驱动初调平台使样品向探针方向作逼近运动，并由驱动控制器接收来自光电限位开关的信号，完成初始逼近步骤；再通过驱动控制器对PZT驱动器上逐步加入逼近方向驱动电压，同时检测光电位置传感器上的由探针反射的激光光斑位置变化信号，如果光斑位置信号产生突变，则说明样品已接触探针，停止逼近，完成逼近过程；如果PZT驱动器的驱动电压加到最大额定值时，光电传感器仍然没有输出突变信号，则撤销PZT驱动器的逼近驱动电压；再控制步进电机驱动初调平台步进，重新按前述方式驱动PZT进行逼近，直至光电传感器产生突变信号为止。