[发明专利]研磨垫、研磨方法及研磨装置无效
| 申请号： | 200610129053.9 | 申请日： | 2006-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101045290A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 中川泰忠;小池荣二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有穿通孔的研磨垫，通过提高研磨液的供应排出能力，能缩小研磨量的偏差。本发明的研磨垫具备：板状的垫本体(12)，一个面作为研磨面(12a)，另一个面作为支持面(12b)；以及多个穿通部(20)，从研磨面(12a)到支持面(12b)穿通垫本体(12)，其开口部沿着上述研磨液的流动方向形成。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，旋转研磨被研磨物，其特征在于具备：板状的垫本体，一个面作为研磨面，另一个面作为支持面；以及多个孔部，从上述研磨面到上述支持面穿通上述垫本体，其开口部相对于上述研磨垫的径向以相同角度形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝，未经株式会社东芝许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610129053.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
