[发明专利]复合氧化物层压体、复合氧化物层压体的制造方法、装置有效
| 申请号： | 200610127756.8 | 申请日： | 2006-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1929038A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 木岛健;大桥幸司;滨田泰彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01B3/10 | 分类号： | H01B3/10;H01B3/12;H01L41/18;H01L41/187;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种绝缘性优良的复合氧化物层压体及其制造方法。包括：基板(20)；形成在所述基板(20)的上方、用通式ABO3表示的第一复合氧化物层(24)；以及形成在所述第一复合氧化物层(24)的上方、用通式AB1－xCxO3表示的第二复合氧化物层(26)，其中A元素至少包括Pb，B元素包括Zr、Ti、V、W及Hf中的至少一种，C元素包括Nb及Ta中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 氧化物 层压 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种复合氧化物层压体，包括：基板；形成在所述基板的上方、用通式ABO3表示的第一复合氧化物层；以及形成在所述第一复合氧化物层的上方、用通式AB1-xCxO3 表示的第二复合氧化物层；其中：A元素至少包括Pb；B元素至少包括Zr、Ti、V、W及Hf中的至少一种；C元素包括Nb及Ta中的至少一种。
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