[发明专利]用于确定粒子光学装置中透镜误差的方法有效
| 申请号： | 200610126647.4 | 申请日： | 2006-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN1924553A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | D·J·马斯;S·A·M·门廷克;J·J·L·霍里克希;B·H·弗雷塔格 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;H01J37/26;G01B15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘春元;陈景峻 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定电子扫描显微镜中的透镜误差的方法，更具体地涉及一种使得这种透镜误差能被确定的样品。本发明描述了例如立方体氧化镁晶体的应用，所述氧化镁晶体很容易在硅晶片上被生产成所谓的“自组装”晶体。这样的晶体有几乎完美的角和边。即使在有透镜误差存在的情形下，这也能呈现出如同在不存在透镜误差的情况下的清楚印象。这允许在不同的欠焦和过焦平面上良好地重构光束横截面。在该重建的基础上透镜误差能被确定，于是它们能利用校正器被校正。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 粒子 光学 装置 透镜 误差 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定粒子光学设备中的透镜误差的方法，该设备被设计成用聚焦的粒子束来扫描样品，包括：提供含有已知形状的部分的样品，通过用粒子束扫描样品来产生一个或多个样品图像，以及基于所产生的图像来确定所述束的横截面，其特征在于：该样品是一个带自由边的晶体样品，所述的边是由单晶体的边形成。
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