[发明专利]一种不锈钢蚀刻工艺无效
申请号: | 200610123185.0 | 申请日: | 2006-10-31 |
公开(公告)号: | CN101173360A | 公开(公告)日: | 2008-05-07 |
发明(设计)人: | 李三旭 | 申请(专利权)人: | 佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/28 | 分类号: | C23F1/28;C23F1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528308广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种不锈钢蚀刻工艺,该工艺主要包括以下步骤:a.前处理,用以将初始不锈钢工件进行清洗、除油等表面清洁;b.涂布,将该不锈钢工件其表面涂覆感光胶,再进行曝光、显影及坚膜等处理;c.蚀刻,利用不锈钢蚀刻溶液腐蚀该不锈钢工件之暴露金属部位,其中所采用的不锈钢蚀刻溶液主要包括:三氯化铁400~600g/L、盐酸2~5g/L、氟化氢铵1~2g/L、硫脲2.5~5g/L、蚀刻促进剂1~5g/L、再生剂2~5g/L;d.脱膜,待上述腐蚀到一定程度,再将其表面剩余的胶膜用溶解液去掉,最后清洗得到产品。藉此,该工艺具有蚀刻速度快,精度高,蚀刻液可再生,制程简单等特点,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 不锈钢 蚀刻 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种不锈钢蚀刻溶液,其特征在于,主要包括以下组分:三氯化铁 400~600g/L;盐酸 2~5g/L;氟化氢铵 1~2g/L;硫脲 2.5~5g/L;蚀刻促进剂 1~5g/L;再生剂 2~5g/L。
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