[发明专利]频率稳定化激光器及频率稳定化方法

摘要

本发明提供的是一种能够使激光的振荡频率稳定化的频率稳定化激光器，具有对由参照用激光透过吸收单元而得到的光输出信号实施检测的检测装置(26)、生成光输出信号的三次微分信号的三次微分信号检测装置(32、33)、使谐振器长度变化的第一促动器(125)、驱动第一促动器(125)的第一驱动装置(31)、能够使谐振器长度产生变化的第二促动器(126)、驱动第二促动器(126)的第二驱动装置(36)、根据光输出信号控制第一促动器的第一控制装置(30)和根据三次微分信号通过第二促动器控制谐振器长度的第二控制装置(35)。而且，能够通过第一促动器(125)和第二促动器(126)控制上述谐振器长度，使上述振荡频率稳定化。

主权项

1、一种频率稳定化激光器，该激光器通过在相对位置配置一对反射镜构成的谐振器使激励光谐振而生成激光，并根据对吸收单元照射该激光而得到的光输出信号改变上述谐振器长度，从而使上述激光的振荡频率稳定化，其特征在于，具有：检测上述光输出信号的光检测装置；检测上述光输出信号的三次微分信号的三次微分信号检测装置；使上述谐振器长度变化的第一促动器；驱动上述第一促动器的第一驱动装置；使上述谐振器长度变化的第二促动器；驱动上述第二促动器的第二驱动装置；根据上述光输出信号控制上述第一驱动装置的第一控制装置；以及根据上述三次微分信号控制上述第二驱动装置的第二控制装置，通过上述第一促动器和上述第二促动器控制上述谐振器长度，从而控制上述振荡频率。