[发明专利]用于蒸镀设备的干冰洗净法无效
| 申请号： | 200610119350.5 | 申请日： | 2006-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1970176A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 盛庭 | 申请（专利权）人： | 上海松下等离子显示器有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蒸镀设备的干冰洗净法，在蒸镀设备使用完成后处于100～200℃的高温状态下，利用表面残膜温度与干冰极温的巨大差异造成两种物质温度公差极度变化，使用喷枪将干冰喷射到蒸镀设备表面，在巨大的撞击力下，干冰粒将蒸镀设备表面的氧化镁残膜击碎，干冰在残膜与残膜之间的缝隙内停留，干冰的低温将污垢冷凝，接着，干冰体积极度膨胀转换成气体将黏附在设备表面的残膜从设备表面剥离。本发明的最大特点：在清洗过程中干冰清洗耐高压3－4万伏，干冰颗粒直接升华为CO2饱和性气体，不导电；大部分的污染在高温下的覆著率是最薄弱的，在许多应用方面在线清洗可以节省3－5倍的清洗成本，有着较传统清洗所不能取代的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 设备 干冰 洗净 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸镀设备的干冰洗净法，其特征在于，在蒸镀设备使用完成后处于100～200℃的高温状态下，利用表面残膜温度与干冰极温的巨大差异造成两种物质温度公差极度变化，使用喷枪将干冰喷射到蒸镀设备表面，在巨大的撞击力下，干冰粒将蒸镀设备表面的氧化镁残膜击碎，干冰在残膜与残膜之间的缝隙内停留，干冰的低温将污垢冷凝，接着，干冰体积极度膨胀转换成气体将黏附在设备表面的残膜从设备表面剥离。
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