[发明专利]一种铝栅表面钝化处理方法及反应装置无效
| 申请号： | 200610118339.7 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101187786A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 梁昆约;许顺富;傅俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种铝栅表面钝化处理方法及反应装置，涉及铝的表面钝化工艺。现有的铝栅表面钝化工艺存在反应时间长、消耗晶圆数量大、工艺成本高等问题。本发明的铝栅表面钝化处理方法，包括下列步骤：(1)将铝栅固定于反应装置中；(2)将反应装置内的温度提升至225－275℃之间，并向反应装置内通入氧气；(3)使铝栅和氧气充分反应，直到铝栅表面形成一层致密的氧化层。本发明还提供了一种用于铝栅表面钝化处理的反应装置。采用本发明的方法和反应装置，能在铝栅表面形成一层致密的氧化层，且钝化处理时间短、消耗晶圆数量少，大大降低了铝栅钝化的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 钝化 处理 方法 反应 装置 | ||
【主权项】：
1.一种铝栅表面钝化处理方法，其特征在于，所述的方法包括下列步骤：(1)将铝栅固定于反应装置中；(2)将反应装置内的温度提升至225-275℃之间，并向反应装置内通入氧气；(3)使铝栅和氧气充分反应，直到铝栅表面形成一层致密的氧化层。
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