[发明专利]一种在线球差测量方法

摘要

本发明公开了一种在线球差测量方法，包括：步骤一、制作测试掩膜板，或者使用现有的球面像差，找出各空间周期光栅所在位置；步骤二、移动焦平面空间像收集探测器阵列，与测试掩膜板上的测试图形位置相匹配；步骤三、光刻机将测试掩膜板上的图形对硅片平台的每一个垂直位置投影到焦平面空间像收集探测器阵列；步骤四、焦平面空间像收集探测器阵列收集所述测试图形的空间像，并且将其转换为电信号，并且传送到计算模块，分析解算出球面像差。本发明可大大提升光刻工艺中对透镜组球差的监控，从而提高了对工艺精度的保证，同时降低工艺成本。

主权项

1.一种在线球差测量方法，可应用于透镜成像系统，该透镜成像系统包括：主透镜、傅立叶平面附近的45度角度分束板、45度角度反光镜、投影透镜、焦平面空间像收集探测器阵列、附属照明光源模块和计算模块组成，所述45度角分束板用于对硅片平台表面的反射光进行分光，所述45度角度反光镜用于将所述45度角分束板所分出来的从硅片平台表面的反射光经过所述投影透镜投向所述焦平面空间像收集探测器阵列上，所述焦平面空间像收集探测器阵列包括一聚焦透镜和一像传感器，具有收集空间像光强分布和将光信号转换成电信号的功能，所述像传感器包括任何能够将光强分布信号转换成电信号的器件，所述计算模块，可以是光刻机本身的数据处理器，也可以是独立的图象处理器，且将数据传送到光刻机或者光刻机的使用者；其特征在于，包括：步骤一、制作测试掩膜板，或者使用现有的球面像差测试掩膜板，找出各空间周期光栅所在位置；步骤二、移动所述焦平面空间像收集探测器阵列，与所述测试掩膜板上的测试图形位置相匹配；步骤三、所述光刻机将测试掩膜板上的图形对硅片平台的每一个垂直位置投影到焦平面空间像收集探测器阵列；步骤四、所述焦平面空间像收集探测器阵列收集所述测试图形的空间像，并且将其转换为电信号，并且传送到计算模块，分析解算出球面像差。