[发明专利]静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器无效
| 申请号： | 200610117320.0 | 申请日： | 2006-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1972102A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 于茂华;王小静;刘永武;高嵘;谢明春;张敏亮;王国亮 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外延伸弯折形成的两个折叠梁，所述的致动平板一侧或两侧的折叠梁与所述的连通致动平板的固定电极连成一体。本发明的整体体积较小，可与集成电路制作工艺相兼容。具有致动位移大、精度高、致动过程可控性好、能实现纳米级步进致动。通过施加驱动电压、驱动微致动器，实现其执行机构传递负载的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 折叠 纳米 步进 微致动器 | ||
【主权项】：
1、一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器，包括基板(4)、由支撑梁(2)支撑而贴近基板(4)表面绝缘层(5)的致动平板(1)、与致动平板(1)连成一体的垫块(3)、以及分别接通基板(4)和致动平板(1)的固定电极(7、8)，其特征在于所述的支撑梁(2)是与致动平板(1)连成一体而从致动平板(1)两侧向外延伸弯折形成的两个折叠梁(6)，所述的致动平板(1)一侧或两侧的折叠梁与所述的连通致动平板(1)的固定电极(7)连成一体。
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