[发明专利]用于直线推进的多弧结构的改性SU8电热微执行器无效
| 申请号： | 200610116292.0 | 申请日： | 2006-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1923670A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;陈实;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;张宗明 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及的是一种MEMS微制造技术领域的用于直线推进的多弧结构的改性SU8电热微执行器。由SU8胶悬臂梁、与外部电路连接的左导电层、右导电层构成，SU8悬臂梁形状为多弧状结构，用于直线推进，为玻璃基底上制作的悬臂梁结构，悬臂梁梁体为掺入纳米碳管的SU8胶，左导电层和右导电层SU8胶悬臂梁的上方，通过下面的左导电层和右导电层与玻璃基底相连。本发明得到机械强度和导电性大大增加的悬臂梁结构，同时有利于减少工作的电流和降低工作温度；采用电热致动方式输出作用力大，动作可靠；工作电流较小，温度较低，对环境影响小，适应性强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 直线 推进 结构 改性 su8 电热 执行 | ||
【主权项】：
1.一种用于直线推进的多弧结构的改性SU8电热微执行器，其特征在于，由SU8胶悬臂梁、与外部电路连接的左导电层、右导电层构成，SU8悬臂梁形状为多弧状结构，用于直线推进，为玻璃基底上制作的悬臂梁结构，悬臂梁梁体为掺入纳米碳管的SU8胶，左导电层和右导电层SU8胶悬臂梁的上方，通过下面的左导电层和右导电层与玻璃基底相连。
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