[发明专利]加热装置有效
| 申请号： | 200610115746.2 | 申请日： | 2006-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN1917722A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 冈岛久和;后藤义信 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/06 | 分类号： | H05B3/06;H05B3/18;H05B3/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种加热装置，其能够降低排出到基板加热面上的气体的排出量的偏差，并能够不影响基板的成长膜的生成等地抑制在基板加热面上堆积反应膜。加热装置(100)具备：具有放置基板的基板加热面(10a)及位于基板加热面(10a)相反一侧的加热部件背面(10b)并埋设有电阻发热体(11)的板状的加热部件(10)；配置在加热部件(10)的加热部件背面侧(10b)并具有与加热部件背面(10b)相对的相对面(20a)的辅助部件(20)，在加热部件背面(10b)和相对面(20a)之间，形成排出到基板加热面(10a)上的气体路径即面状气体路径(14a)。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，其特征在于，具备：具有放置基板的基板加热面及位于与所述基板加热面相反侧的加热部件背面并埋设有电阻发热体的板状的加热部件；以及，配置在所述加热部件的所述加热部件背面侧并具有与所述加热部件背面相对的相对面的辅助部件，在所述加热部件背面和所述相对面之间，形成排出到所述基板加热面上的气体路径，即面状气体路径。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本碍子株式会社，未经日本碍子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610115746.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
