[发明专利]低走离干涉仪

摘要

本发明公开了一种干涉仪，所述干涉仪采用第一测量通道和第二测量通道，对于沿垂直和水平方向的测量可以获得大的动态范围，其中第一测量通道对于一路径进行的包括分别与光学器件－物体间隔平行和垂直的分量的测量具有大的动态范围，第二测量通道只对垂直分量的测量提供了大的动态范围。此外，在物体周围的多个位置处采用相同的技术可以使物体自由度的测量具有大的动态范围。

主权项

1.一种干涉仪系统，包括：第一测量通道，所述第一测量通道提供第一信号，所述第一信号指示了沿一路径的具有第一分量和第二分量的测量结果，所述第一分量沿着对于被测物体而言的第一方向，所述第二分量沿着对于所述被测物体而言的第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直；第二测量通道，所述第二测量通道提供第二信号，所述第二信号指示的测量结果至少具有沿所述第二方向的分量；以及处理系统，所述处理系统利用所述第一信号和所述第二信号来确定沿所述第一方向的测量结果。