[发明专利]光刻接触元件无效
| 申请号： | 200610108541.1 | 申请日： | 1999-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1900725A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | G·L·马蒂厄;B·N·埃尔德里奇;G·W·格鲁布 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R3/00;H01L23/48;H01L21/48 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种通过光刻技术形成包括弹性接触元件的互连的方法。在一个实施例中，该方法包括把一掩膜材料涂到衬底的第一部分上，该掩模材料具有能限定弹性结构的第一部分的开口；把一结构材料(例如，导电材料)沉积到开口中，并给开口过量填充该结构材料；除去结构材料的一部分；以及除去掩膜材料的第一部分。在此实施例中，弹性结构的第一部分的至少一部分没有掩膜材料。在本发明的一个方面，该方法包括对掩膜材料层和结构材料进行平面化，以除去结构材料的一部分。在另一个方面，所形成的弹性结构包括支柱部分、横梁部分和尖端结构部分中之一。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 接触 元件 | ||
【主权项】：
1.一种测试电子器件的方法，所述方法包括：提供包括多个接触结构的第一衬底，每个所述接触结构包括设置在所述第一衬底的端子上的互连元件，附着于支柱的悬臂横梁和附着于所述横梁的尖端，其中所述支柱、所述横梁和所述支柱是分别形成的；使得一些所述接触结构与所述电子器件的端子相接触；以及通过所述一些接触结构测试所述电子器件。
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