[发明专利]形成微组件的连续方法无效
| 申请号： | 200610103198.1 | 申请日： | 2001-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1897209A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·维克托里·乔治;亚当·托马斯·德罗博特;罗杰·拉弗内·约翰逊;艾伯特·迈伦·格林;纽厄尔·孔韦尔·韦思 | 申请（专利权）人： | 科学应用国际公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01J1/30;H01J17/02;H05B37/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于形成微组件的连续方法，该方法至少部分地是在有等离子体发生气体存在的条件下进行的，包括步骤：形成液滴；用外膜密封由水溶液构成的该液滴；除去液滴留下外壳。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 组件 连续 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成微组件的连续方法，其中该方法至少部分地是在有等离子体发生气体存在的条件下进行的，包括步骤：形成液滴；用外膜密封由水溶液构成的该液滴；以及除去液滴留下外壳。
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