[发明专利]计量工具的误差记录分析方法和系统有效
| 申请号： | 200610094605.7 | 申请日： | 2006-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1885049A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·P·索莱基;周麟;萨拉赫·凯伊 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01B11/00;H01L21/00;H01L21/66;G06F17/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种识别用于测量微电子特征所需尺寸的计量工具系统中的失效的方法，其中的每个计量工具运行多个配方以测量微电子特征所需尺寸，每个配方包括测量微电子特征的至少一个尺寸的一组指令。该系统包括存储有微电子特征尺寸测量中的失效的误差记录。该方法包括从上述的失效中确定由计量工具所使用的配方的误差的归一化数量、识别误差记录中具有最大归一化误差数量的一个或多个配方、在由计量工具执行的作业列表中识别所述具有最大归一化误差数量的配方以及从所述配方中确定一个或多个配方的误差的原因。然后改变具有最大归一化误差数量的配方以校正其中的误差，跟踪具有所述已经改变的一个或多个配方的计量工具作业以确定是否已经校正了误差原因。 | ||
| 搜索关键词： | 计量 工具 误差 记录 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种识别用于测量微电子特征所需尺寸的计量工具中的失效的方法，包括：提供运行多个配方以测量微电子特征所需尺寸的计量工具，每个配方包括用于测量微电子特征中的至少一个尺寸的一组指令；提供用于计量工具的误差记录，在该误差记录中存储有微电子特征尺寸的测量中的失效；从存储在误差记录中的失效中，确定由计量工具所使用的配方的误差的归一化数量；识别在误差记录中具有最大归一化误差数量的一个或多个配方；在由计量工具执行的作业列表中，识别所述一个或多个被识别的具有最大归一化误差数量的配方；从所述一个或多个被识别的具有最大归一化误差数量的配方，确定在所述一个或多个配方中的误差的原因；改变具有最大归一化误差数量的一个或多个被识别的配方以校正其中的误差；和跟踪具有所述已经改变的一个或多个配方的计量工具作业以确定是否已经校正了误差的原因。
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