[发明专利]用原子力显微镜确定样品的材料界面和计量信息的方法无效
| 申请号： | 200610094518.1 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1877246A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 胡家祯 | 申请（专利权）人： | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/00;G01N13/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种使用原子力显微镜确定样品的界面信息和关键尺寸的方法。在关键尺寸信息处理之前，对扫描线执行末端－样本去卷积。在多条扫描线上寻求每条扫描线的局部最大值和最小值或者局部斜度改变。然后为多个最大值和最小值或者斜度改变点寻求最佳拟合线。可以使用多个最大值或者最小值或者斜度改变点寻求两条最佳拟合线。这两条最佳拟合线的交点可用于确定诸如转变点之类的关键尺寸。这样的方法可以用于确定梯形磁写入头的轨道宽度，或者可以用于确定磁写入头上的喇叭张开点的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 确定 样品 材料 界面 计量 信息 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于确定样品上的关键尺寸的方法，包括：执行对样品的扫描，该扫描包括多条扫描线；以及为多条扫描线中的每条扫描线确定最大值、最小值、或者局部斜度改变的位置。
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