[发明专利]电极组件和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 200610093138.6 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1929713A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 高桥千香子;铃木隆司;堀口将人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/46;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以防止电极板的损坏、并且可以防止部件个数的增加从而可以防止维护性的恶化的等离子体处理装置的电极组件。上部电极组件具有上部电极板(32)、冷却板(C/P)(34)、以及被配置在上部电极板(32)和C/P(34)之间的隔板(37)。上部电极板(32)具有贯通该上部电极板(32)的电极板气体通气孔(32a)。C/P(34)具有贯通该C/P(34)的C/P气体通气孔(34a)。隔板(37)具有贯通该隔板(37)的隔板气体通气孔(37a)。电极板气体通气孔(32a)、C/P气体通气孔(34a)和隔板气体通气孔(37a)不配置在同一直线上。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 组件 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置具备的由电极板和中间部件构成的电极组件，所述电极板具有贯通该电极板的第一气体通气孔、并且所述中间部件具有贯通该中间部件的第二气体通气孔，其特征在于，该电极组件包括：被配置在所述电极板和所述中间部件之间的隔板，其中，该隔板使处理气体从所述第二气体通气孔通向所述第一气体通气孔，并且防止侵入到所述第一气体通气孔中的等离子体侵入到所述第二气体通气孔中。
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