[发明专利]在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法与装置无效
| 申请号： | 200610088953.3 | 申请日： | 2006-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101113079A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 曹峻松;秦大山;曹国华;曾一平;李晋闵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一微波炉；步骤2：将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3：在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4：将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5：启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 臭氧 环境 ito 玻璃 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种在微波、臭氧环境下ITO玻璃的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一微波炉；步骤2：将样品放置在微波炉的炉体内；步骤3：在微波炉的炉体内置放一玻璃真空灯管架；步骤4：将内含稀薄汞蒸气的石英管放在玻璃真空灯管架上；步骤5：启动微波炉，对内含稀薄汞蒸气的石英管微波加热。
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