[发明专利]集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法无效
| 申请号： | 200610086551.X | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101093931A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 吴旭明;王小东;谭满清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/20;H01S5/187;H01S5/04;H01S5/343 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器，包括：一衬底；一下布拉格反射镜制作在衬底上；一下限制层制作在下布拉格反射镜上；一下波导层制作在下限制层上，该下波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料；一有源区制作在下波导层上；一上波导层制作在有源区上，该上波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料；一上限制层制作在上波导层上；一上布拉格反射镜制作在上限制层上面的中间；一欧姆接触层制作在上限制层上，位于上布拉格反射镜的两侧；一上电极制作在欧姆接触层上，位于上布拉格反射镜的两侧；一下电极制作在衬底的下面。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光源 波长 垂直 发射 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器，其特征在于，该结构包括：一衬底，该衬底是磷化铟衬底；一下布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在衬底上；一下限制层，该限制层制作在下布拉格反射镜上，该下限制层是磷化铟材料；一下波导层，该下波导层制作在下限制层上，该下波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料；一有源区，该有源区制作在下波导层上；一上波导层，该上波导层制作在有源区上，该上波导层是带隙波长为1.2微米的铟镓砷磷材料；一上限制层，该上限制层制作在上波导层上，该上限制层是磷化铟材料；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在上限制层上面的中间；一欧姆接触层，该欧姆接触层制作在上限制层上，位于上布拉格反射镜的两侧，该欧姆接触层是铟镓砷材料；一上电极，该上电极制作在欧姆接触层上，位于上布拉格反射镜的两侧，该上电极是金锌金材料；一下电极，该下电极制作在衬底的下面，该下电极是金锗镍材料。
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