[发明专利]太阳能集热管真空磁控溅射连续镀膜线系统无效
| 申请号： | 200610083743.5 | 申请日： | 2006-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101086059A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 章其初;陈革;孟秀清;王双 | 申请（专利权）人： | 黄鸣 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253023山东省德*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种太阳能集热管真空磁控溅射连续镀膜线系统，该系统由进管区和镀膜区及出管区组成，其进管区依次连接进管门阀和进管室及进管过渡室和进管传输室，镀膜区装有分子复合泵，出管区由出管传输室和出管过渡室及出管室依次连接，进管室侧面连接机械泵和辅助真空室，进管和出管过渡室的侧面均连接机械泵和恒定气压控制装置，镀膜室装有金属沉积陶瓷层或沉积金属层，管架传送进入镀膜区，一架一架地匀速平移每个玻璃管又自转，在管的外表面交叉又沉积一层陶瓷层和金属层组成金属陶瓷层。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 热管 真空 磁控溅射 连续 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能集热管真空磁控溅射连续镀膜线系统，它由抽真空系统、抽真空室、镀膜室和玻璃管管架组成，其特征是镀膜线系统由进管区(8)、镀膜区(4)和出管区(19)组成，进管区由进管门阀(9)、进管室(1)、进管过渡室(2)和进管传输室(3)依次连接，镀膜区(4)由镀膜室(25)和(26)及抽真空室(29)，抽真空室(29)侧面装有复合分子泵(15)，出管区(19)由出管传输室(5)、出管过渡室(6)和出管室(7)及出管阀门(18)依次连接，镀膜线系统两端分别装有上管区(8)和下管区(19)。
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