[发明专利]光学干涉仪无效
| 申请号： | 200610083359.5 | 申请日： | 2006-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1959336A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 格雷格·C·菲利克斯;约翰·伯克曼 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学干涉仪，包括单件式光学元件，所述单件式光学元件具有偏振分束器和至少一个基本平行所述偏振分束器的反射表面。本发明的光学干涉仪，不再受到介质折射率会随温度、压力、湿度和介质的含量而变化从而使OPL发生变化的影响，因此，能够提供精密的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种光学干涉仪，包括单件式光学元件，所述单件式光学元件具有偏振分束器和至少一个基本平行所述偏振分束器的反射表面。
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