[发明专利]衬底加热设备和方法以及涂覆和显影系统

摘要

披露一种衬底加热设备，该设备包括加热衬底的热板以及支承衬底并且在第一位置和热板之上的第二位置之间运动以便在两个位置之间传递晶片的冷却板。热辐射翅片结构连接到冷却板上以便和冷却板一起运动。翅片结构经由热管热连接到冷却板上。抽吸口布置成在冷却板在初始位置时靠近翅片结构定位。翅片结构通过流过其中并且在抽吸到抽吸口之前的气体冷却，由此冷却板通过经由热管从冷却板传递到翅片结构的热量来冷却。

主权项

1.一种衬底加热设备，包括：壳体；布置在壳体内的热板，适用于加热涂覆有涂覆溶液的衬底；布置在壳体内的冷却板，适用于在其上支承衬底，适用于运动到其中衬底在冷却板和布置在壳体外部的外部衬底输送器之间传递的壳体内的第一位置以及其中衬底在冷却板和热板之间传递的壳体内热板之上的第二位置，并适用于冷却通过热板加热的衬底；冷却板驱动机构，适用于在第一位置和第二位置之间运动冷却板；衬底支承构件，适用于临时支承衬底以便在热板和冷却板之间传递衬底；衬底支承构件驱动单元，适用于运动衬底支承构件；热管，具有连接到冷却板上的第一端和第二端；翅片结构，该结构具有热连接到热管的第二端上的冷却翅片，并连接到冷却板上，使得翅片结构和冷却板一起运动；第一抽吸通道，具有抽吸口，抽吸口通向壳体内的空间，使得在冷却板在第一位置上时，抽吸口靠近翅片结构定位，在壳体内的气体通过抽吸口抽吸时，以便形成流过翅片结构的相邻翅片之间的间隙的气体流，从而冷却翅片结构，由此冷却板通过热管冷却。