[发明专利]表面粗糙度/外形轮廓测量仪无效
| 申请号： | 200610075239.0 | 申请日： | 2006-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1854677A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 青木优弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京精密 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G01B7/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种能够使拾取器自动移动到测量位置的表面粗糙度/外形轮廓测量仪。该表面粗糙度/外形轮廓测量仪包括拾取器和拾取器移动机构，并测量机件表面的粗糙度或外形轮廓，并进一步包括移动信息产生部分和移动控制部分，该移动信息产生部分用于生成将拾取器从当前位置移动到测量指向位置所必需的移动信息，在该测量指向位置检测机件表面上的表面位置的高度，该移动控制部分用于基于移动信息产生部分所生成的移动信息关于机件相对地移动拾取器。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 粗糙 外形 轮廓 测量仪 | ||
【主权项】：
1.一种表面粗糙度/外形轮廓测量仪，包括：用于检测机件表面位置高度的拾取器；拾取器移动机构，其用于关于机件相对地移动拾取器，并在关于机件表面相对地移动拾取器时通过检测机件表面位置的高度变化来测量机件表面的粗糙度或形状，还包括：移动信息产生部分，其用于生成将拾取器从当前位置移动到测量指向位置所必需的移动信息，在所述测量指向位置检测机件表面的指向表面位置的高度；以及移动控制部分，用于基于移动信息产生部分所生成的移动信息，关于机件相对地移动拾取器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东京精密，未经株式会社东京精密许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610075239.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
