[发明专利]一种基于纳米线阵列的气体传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于纳米线阵列来实现气体检测的气体传感器。本发明所述的气体传感器，包括绝缘基片、下电极层、传感导电体、上电极层，其特征是连接在下电极层和上电极层之间的传感导电体是由金属或金属氧化物构成的纳米线阵列，纳米线的直径为30到800纳米，长度为微米数量级，纳米线之间的间隙为25纳米到550纳米。其制备方法是：1.下电极层的制备；2.多孔的氧化铝模板的制备；3.纳米线阵列的制备；4.上电极层的制备；5.腐蚀去除多孔的氧化铝模板。本发明中采用新型的微纳米加工技术，利用纳米线阵列作为气体传感器材料，检测气体的灵敏度高，避免了分散纳米线或操纵纳米线的困难，便于工业化批量生产。

主权项

1、一种气体传感器，由绝缘基片[4]、下电极层[3]、传感导电体[2]、上电极层[1]组成，其特征在于上电极层[1]与下电极层[3]之间的传感导电体[2]是由金属或金属氧化物构成的纳米线阵列。