[发明专利]在限制能耗的同时能迅速抽空的外罩

摘要

本发明的真空泵吸装置包括用于驱动多段干式机械泵(2)的马达(1)，其中这些段(5，6，7，8)按照多个连续结构连续并联然后串联连接，选择每个结构来优化在当前压力范围中的泵吸速度。这使之能够迅速降低在外罩(100)内的压力，同时与其速度足以获得相同快速泵吸的传统泵相比，使该泵的体积和由该泵所消耗的能量降低了大约40％。

主权项

1.一种用于降低外罩(100)的压力的真空抽吸装置，该装置包括用于驱动多段干式机械真空泵(2)的电机(1)，每个段(5-8)具有一进气口(5c-8c)和一出气口(5d-8d)，并且所述泵包括用于使这些段(9-11)在用于将气体从外罩中抽出的回路中相互连接的管道(9-11)，该装置其特征在于，它包括流体流动连接部件(12-19)，它们使这些段(5-8)相互连接以便从其中这些段在第一泵吸步骤(E1)期间至少成对并联连接的第一结构变为其中这些段在最后泵吸步骤(E3)中串联连接的最后结构，经过至少一个中间结构，在中间泵吸步骤(E2)期间，在每个当前压力范围中优化泵吸速度，并且其中至少一个段(5)与至少一个其它段(6)并联连接，同时至少一个段(7)与至少一个其它段(8)串联连接。