[发明专利]涂布装置

摘要

本发明提供一种当通过喷嘴在基板的被涂布面上涂布涂布液时，能够抑制涂布液的涂布不匀的涂布装置。该涂布装置包括：具有与顶端开口部连通的毛细管状间隙且使涂布液经毛细管状间隙而导向顶端开口部的喷嘴；升降机构部，使该喷嘴的顶端开口部相对于基板的被涂布面接近或离开，并使到达上述顶端开口部的涂布液能够与被涂布面液体地接触；以及移动架，使基板相对于喷嘴进行扫描，并且使与被涂布面液体地接触的上述顶端开口部内的涂布液能够在该被涂布面上进行涂布。上述升降机构部具有支撑喷嘴的喷嘴支撑轴，在该喷嘴支撑轴的顶端固定有台座，并且在喷嘴支撑轴上卷绕有线圈，通过对该线圈通电而产生的电磁铁的磁力，使喷嘴保持安装于上述台座。

主权项

1、一种涂布装置，其使来自喷嘴的涂布液与朝下的基板的被涂布面液体地接触并使上述喷嘴与上述基板相对移动，以将涂布液涂布于上述被涂布面而形成涂布膜，其特征是，上述喷嘴通过磁力保持安装于使该喷嘴升降的喷嘴支撑轴。