[发明专利]溶液涂敷装置及溶液供给量的计量方法、溶液的供给方法有效
| 申请号： | 200610064773.1 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1974027A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 梶原慎二;松岛大辅 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05B13/04;B05C11/10;B05B1/28 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现从喷嘴供给的溶液的供给量的测量精度的提高和测量作业的效率提高的涂敷装置。其将溶液供给涂敷至基板，包括：沿预定方向配置、对基板供给涂敷溶液的多个涂敷头(22)；在上面载置有上述基板的载置台(7)；使该载置台和涂敷头在与预定方向交叉的方向上相对移动的第1线性电动机(8)；测量从涂敷头供给的溶液的重量的秤(41)；使秤独立于载置台在预定方向及与该预定方向交叉的方向上移动的第2线性电动机(44)。 | ||
| 搜索关键词： | 溶液 装置 供给量 计量 方法 供给 | ||
【主权项】：
1、一种溶液涂敷装置，其将溶液供给涂敷至基板，其特征在于，包括：沿预定方向配置、对上述基板供给涂敷上述溶液的多个喷嘴；在上面载置有上述基板的载置台；使该载置台和上述涂敷头在与上述预定方向交叉的方向上相对移动的第1驱动机构；测量从上述喷嘴供给的溶液的重量的秤；以及使该秤独立于上述载置台在上述预定方向及与该预定方向交叉的方向上移动的第2驱动机构。
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