[发明专利]平面调节装置无效
| 申请号： | 200610062620.3 | 申请日： | 2006-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN101144867A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 萧志斌;郑振兴;胡兴亿;何仁钦;黄俊凯;傅承祖 | 申请（专利权）人： | 富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司;虹创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/23 | 分类号： | G02B5/23 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面调节装置。该平面调节装置包括载板，调整板，调整件，球面轴承及轴心。所述调整件包括螺纹件及弹性件，该螺纹件贯穿载板并与调整板螺纹耦合连接，该弹性件位于载板与调整板之间且弹性套设在螺纹件上；所述球面轴承收容在所述调整板及载板中的任意一者内；所述轴心穿设在球面轴承内并与所述调整板与载板中的另一者相连，以使载板与调整板定位连接。该平面调节装置可简单、快速地进行平面调节。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.一种平面调节装置，其包括载板及调整板，其特征在于，该平面调节装置还包括：调整件，其包括螺纹件及弹性件，所述螺纹件贯穿载板并与调整板螺纹耦合连接，所述弹性件位于载板与调整板之间且弹性套设在螺纹件上；球面轴承，其收容在所述调整板及载板中的任意一者内；及轴心，其穿设在球面轴承内并与所述调整板与载板中的另一者相连，以使载板与调整板定位连接。
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