[发明专利]溅镀装置及溅镀方法无效
| 申请号： | 200610060962.1 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101082123A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一溅镀装置，其包括溅镀腔体，该溅镀腔体内设有第一溅射靶、第二溅射靶、底座转盘及多对承载台。该第一溅射靶与该底座转盘的上表面呈相对设置，该第二溅射靶环绕该底座转盘设置。该底座转盘与一转动装置相连，该转动装置用以驱动该底座转盘绕底座转盘中心旋转。该多对承载台设于底座转盘的上表面，每对承载台通过一连接杆相连，该连接杆与一驱动装置相连以驱动连接杆连接的两个承载台绕连接杆的中心点旋转。本发明还涉及使用该溅镀装置的溅镀方法，使用该溅镀装置进行溅镀，操作简单方便，可以同时均匀镀覆多个不规则形状工件，有效提高对不规则形状工件溅镀的生产效率，以达到量产的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀装置，其包括溅镀腔体，该溅镀腔体内设有第一溅射靶、第二溅射靶、底座转盘及多对承载台；该第一溅射靶与该底座转盘的上表面呈相对设置，该第二溅射靶环绕该底座转盘设置；该底座转盘与一转动装置相连，该转动装置用以驱动该底座转盘绕底座转盘中心旋转；该多对承载台设于底座转盘的上表面，每对承载台通过一连接杆相连，该连接杆与一驱动装置相连以驱动连接杆连接的两个承载台绕连接杆的中心点旋转。
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