[发明专利]氟酸的回收方法有效
| 申请号： | 200610057775.8 | 申请日： | 2006-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101028918A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 宫田坚洋;亀山薰;川瀬泰人 | 申请（专利权）人： | 三菱化学工程株式会社;日本瑞环株式会社 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19;C02F1/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供从玻璃基板的蚀刻工序等排出的氟酸废液中回收氟酸的方法，是不产生水垢、可以以高收率回收杂质更少的精制氟酸的氟酸的回收方法。氟酸的回收方法通过蒸馏法从含有金属成分的氟酸废液中回收氟酸，具备：将氟酸废液供给到蒸发釜(1)、加热，将粗氟酸作为蒸气回收，同时分离浓缩废液的粗氟酸蒸发工序；利用第一蒸馏塔(21)蒸馏粗氟酸，分离为浓缩氟酸和回收水的第一蒸馏工序；和利用第二蒸馏塔(22)进一步蒸馏浓缩氟酸，分离为被精制的精制氟酸和废液的第二蒸馏工序。其中，在粗氟酸蒸发工序的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量的硫酸。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氟酸的回收方法，通过蒸馏法，从含有金属成分的氟酸废液中回收氟酸，其中，具备：以一定流量将氟酸废液供给到蒸发釜中、加热，作为蒸气回收粗氟酸，同时分离浓缩废液的粗氟酸蒸发工序；利用第一蒸馏塔蒸馏粗氟酸，分离为浓度高于粗氟酸的浓缩氟酸和回收水的第一蒸馏工序；和利用第二蒸馏塔进一步蒸馏浓缩氟酸，分离为被精制的精制氟酸和废液的第二蒸馏工序，在所述粗氟酸蒸发工序的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量硫酸。
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