[发明专利]一种光罩座无效
| 申请号： | 200610054953.1 | 申请日： | 2006-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101030039A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 吴恒忠;吴英明 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩座，用于曝光机上，此光罩座包括固定件，用以固定第一光罩在该光罩座上，而转换套件可拆卸得装设在固定件上，用以固定第二光罩在转换套件上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩座 | ||
【主权项】：
1.一种光罩座，包括：一中空载板，包括一第一部分，用以放置一第一光罩；至少一固定件，设置于该载板上，用以固定该第一光罩；以及一转换套件，以可拆卸的方式连接该固定件且设置于该第一部分内，该转换套件包括一第二部分，用以容纳一第二光罩。
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