[发明专利]高精度石英波片堆的粘合方法无效

专利信息
申请号: 200610042552.4 申请日: 2006-02-22
公开(公告)号: CN101025477A 公开(公告)日: 2007-08-29
发明(设计)人: 王恒飞 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十一研究所
主分类号: G02B27/28 分类号: G02B27/28;G01M11/00;G01J4/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266555山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种高精度石英波片堆的粘合方法,包括打磨、切片、基准定位、旋转角测试、倾斜角测试等步骤,所用的波片取自同一根石英晶体,沿轴向打磨的小平面可以起到准确标记轴向位置的作用,采用定向性能优越的激光束,配合精密的角度旋转仪,可以灵敏地测出微小的角度或倾斜度偏差,从而使波片的粘合准确到位。该粘合方法使用的设备是通用设备,操作简单,粘合精度高,粘合后的石英波片堆可用于校准偏振模色散测试仪的耦合模式传递标准。
搜索关键词: 高精度 石英 波片堆 粘合 方法
【主权项】:
1、一种高精度石英波片堆的粘合方法,其特征是该方法包括以下步骤:A、打磨:在一根完整的石英晶体的长轴或短轴处打磨一个小的平面;B、切片:将上述石英晶体沿小平面的垂直方向切成多个石英波片;C、基准定位:将第一个波片平放在精密角度旋转仪的旋转平台上,使用入射激光束照射该波片的小平面,并通过调节旋转平台使反射激光束沿原路返回;D、旋转角测试:将第一个波片的表面涂上粘合剂,使旋转平台转过预定的角度,并使其垂直下降一个波片的厚度,取第二个波片放在第一个波片上面,然后使用入射激光束照射该波片的小平面,并通过调节旋转平台使反射激光束沿原路返回;E、倾斜度测试:将粘合后的第一个波片和第二个波片垂直安放在平台上,使用入射激光束照射波片粘合后的两个表面,测量入射激光束和反射激光束之间的角度,如该角度不能满足倾斜度要求,则需要重新粘合,直到满足要求为止;F、旋转角复测:将粘合后符合平整度要求的波片平放在精密角度旋转仪的旋转平台上,使用激光束先后照射第一和第二个波片的小平面,检查在进行步骤E时是否影响了前后两个波片的旋转角精度,如影响了旋转角精度,则需要重新粘合直到满足要求为止;G、重复步骤D、E、F,可将第三个波片和第二个波片粘合在一起,以此类推,多次重复步骤D、E、F,最终可粘合成任意片数的石英波片堆。
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