[发明专利]溅镀设备供电系统、电压控制信号形成系统及方法无效
| 申请号： | 200610033260.4 | 申请日： | 2006-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101003892A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 林志泉 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀设备供电系统和供电方法，以及该溅镀设备的电压控制信号形成系统和形成方法。所述溅镀设备供电系统包括：一个光源，用于提供一个光载波；一个光学干涉仪，用于对所述光载波进行调制，以便形成一个包含多个边频项的调制信号；一个光电转换电路，用于将所述调制信号转换成为一个具有多个边频项的电信号；一个带通滤波电路，用于滤出所述电信号中所需要的频率项的电信号；和多个电压控制震荡器，其利用所述被滤出的频率项的电信号作为电压控制信号为溅镀设备的阴极和阳极提供电压。本发明中使用光学干涉仪对光载波进行调制直接形成多频带同步信号，简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 供电系统 电压 控制 信号 形成 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀设备供电系统，其特征在于包括：一个光源，用于提供一个光载波；一个光学干涉仪，用于对所述光载波进行调制，以便形成一个包含多个边频项的调制信号；一个光电转换电路，用于将所述调制信号转换成为一个具有多个边频项的电信号；一个带通滤波电路，用于滤出所述电信号中所需要的频率项的电信号；和多个电压控制震荡器，其利用所述被滤出的频率项的电信号作为电压控制信号为溅镀设备的阴极和阳极提供电压。
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